无油旋齿压缩机赋能半导体制造：瑞沃斯流体机械的创新实践（3）

无油旋齿压缩机赋能半导体制造：瑞沃斯流体机械的创新实践（3）

四、未来展望：绿色与智能化并行

   随着半导体行业向更高精度、更低能耗方向发展，瑞沃斯持续加 大技术投入。在材料创新方面，公司研发的特氟龙涂层转子与不锈钢材质主机，显著提 升了设备的耐腐蚀性与使用寿ming；在智能化领域，AI 算法的引入实现了气源供需的动态优化，进一步降 低能耗。同时，响应国 家 “双碳” 战略，瑞沃斯正探索氢能等新能源领域的应用，推动行业向绿色制造转型。

   作为国内少数掌握无油旋齿核心技术的企业，瑞沃斯流体机械以技术创新为驱动力，深度契合半导体行业的严苛需求。未来，公司将继续以 “洁净、节能” 为核心理念，为全球半导体产业提供更可靠的气源保障，助力中国高端制造迈向新高度。