无油旋齿压缩机赋能半导体制造：瑞沃斯流体机械的创新实践（1）

无油旋齿压缩机赋能半导体制造：瑞沃斯流体机械的创新实践（1）

   在半导体行业，对压缩空气质量的要求达到了严苛级别。从晶圆加工到芯片封装的每一道工序，均需在无油、无尘的超净环境中进行。作为国内流体机械领域的技术先锋，瑞沃斯流体机械（苏州）有限公司凭借自主研发的无油旋齿压缩机，为半导体制造提供了高 效、洁净的气源解决方案，助力产业升级。

一、技术突破：无油旋齿的核心优势

   瑞沃斯无油旋齿压缩机采用双转子同步旋转技术，通过阴阳转子的精密啮合实现空气压缩。与传统润滑式空压机不同，其无油设计完 全摒弃了润滑油的使用，从源头杜绝了油污染风险。这一特性对于半导体行业尤为关键 —— 压缩空气中的油分子若附着于芯片表面，将直接影响电子元件的性能与可靠性。此外，设备搭载的高 效冷却系统与智能控制系统，确保在长时间高负荷运行中保持稳定，能耗降 低 15% 以上，显著提 升了生产效率。