无油旋齿压缩机：电子制造领域的高 效洁净新选择（2）

无油旋齿压缩机：电子制造领域的高 效洁净新选择（2）

二、无油旋齿压缩机的技术优势

瑞沃斯流体机械自主研发的无油旋齿压缩机采用独特的双螺旋齿同步啮合技术，通过非接触式设计实现完 全无油压缩，同时兼具高 效节能、低噪音、长寿ming等特点：

1.100 % 无油洁净：

   压缩腔内无润滑油参与，避免油蒸汽污染，满足 ISO 8573-1 Class 0 无油认证要求；

   特别适用于半导体晶圆制造、电子元件清洗等对油污敏 感的工艺。

2.高 效节能：

   旋齿结构减少气体回流损失，比传统无油机型节能 15%-20%；

   变频控制技术可根据用气需求动态调节转速，进一步降 低能耗。

3.稳定可靠：

   运动部件少，故障率低，维护周期长（保养间隔可达 8000 小时）；

   内置智能监控系统，实时监测压力、温度、振动等参数，确保运行安 全。

4.低噪音运行：

   优化气流通道设计，整机噪音低于 80 分贝，改善车间工作环境。